【第一参赛人/留学人员】赵红艳,鲁翠

【留学国家】暂无

【技术领域】高端装备与新能源汽车

【参赛届次】第2届

【所获奖项】优胜奖

【项目简介】
半导体减薄晶圆倒片机系统,由北京锐洁机器人科技有限公司研发生产,并于2015年入选北京市新技术新产品(服务)。该款产品由高洁净机械手臂、高精度校准器以及高效空气过滤装置等主要模块组成。创新性的采用业内首次使用的PLC控制方式的MES通讯软件和晶圆、垫纸识别技术以及针对减薄晶圆设计的非接触式伯努利手指,彻底解决减薄晶圆抓取易污染、破损的技术难点。同时该设备中新加入的静电消除器,可消除晶圆表面及晶圆层间纸上所带的静电荷,确保carrier与box之间正常互传作业。锐洁生产的该设备在满足高效传输的同时,解决了晶圆污染碎片问题,打破了国外设备在中国半导体市场形成的竞争垄断。公司新开发的此产品现已成功实施运用,性能稳定,质量可靠,生产效率高,取得了晶圆厂商的高度认可。随之国内半导体晶圆芯片生产设备的需求量进一步扩大,作为国内屈指可数的半导体高端设备生产厂家之一,锐洁机器人正在加快步伐抢占国内市场,凭借20年专业的机械手臂和半导体集成设备研究与开发,不断扩大市场份额,提升公司品牌影响力。 【展开】 【收起】
【成立时间】2013年01月07日
【行业领域】科技推广和应用服务业
【注册资本】1000万元
【企业法人】刘冬梅
【官方网站】http://rejeauto.com
【公司地址】北京市北京经济技术开发区科创十四街99号33幢C栋603室
【企业简介】
锐洁机器人是由海外留学归国团队创办的国家高新技术企业,专业从事泛半导体行业各种晶圆搬运洁净机器人和自动化系统设备的研发与生产(包括EFEM、Sorter、Loadport、Aligner、Loader、unloader等)。公司拥有关于机械手结构及自动化控制和通讯方面核心专利30项,建有独立研发实验室和洁净生产车间约1000平方米,具备完善的研发生产设施,与国内多家知名集成电路芯片制造商建立了合作关系,累计为国内客户提供芯片制造领域自动化解决方案600余项。目前国内半导体芯片设备生产行业主要被国外厂家垄断,国产设备占有率较低,我司核心技术团队人才,拥有20余年半导体行业从业经验,可快速的为用户提供定制化设计生产。公司近两年投入资金研发的国产大行程洁净机械手、五指可变间距洁净机械手、8寸、12寸晶圆搬运EFEM设备等产品都已实现销售,填补了国内关键产品空白,给公司带来显著经济效益。公司自成立以来累计实现销售收入达1.3亿元,已连续3年实现盈利,每年销售收入翻倍增长.公司凭借专业的洁净机械手臂和半导体自动化设备开发经验,不断扩大市场份额,提升品牌影响力,致力于成为国内半导体洁净机器人及专用半导体自动化设备的最大产品服务商。 【展开】 【收起】