本项目的主要目标是在中国建立MEMS气相沉积生产线，届时将有能力在150—450mm晶圆上提供高质量，低残余应力的气相沉积薄膜。在制造磁电天线的同时，也可以将多余产能释放给国内高校以及MEMS企业，为企业和高校提供MEMS所特别要求的定制化镀膜服务，提升中国半导体/MEMS的制造产能和技术。且本项目符合国家战略性新兴产业政策,得到国家大力的支持与推动。磁电天线可以避免传统天线的电流发热，电流损耗等问题, 降低温室气体排放和环境污染，不会对周围的环境造成污染。磁电天线理论上可以使得天线尺寸缩小上百倍，其制造工艺采用门槛较高的中端半导体制造技术（分辨率2um以上），在保证天线的辐射效率和功率情况下，微羽团队将攻克这一设计难题。磁电天线的主要制造工艺包括半导体光刻及半导体气相沉积。而MEMS气相沉积是MEMS传感器、滤波器以及激光雷达的重要工艺步骤。拟在中国建立MEMS气相沉积生产线将有能力在150mm~450mm晶圆上提供高质量、低残余应力的气相沉积薄膜。针对未来磁电天线所应用的不同领域，微羽团队将依据磁电天线应具备的辐射效率调整该领域天线的生产技术路线，参数指标为可植入医疗设备天线：403MHz；水下无线通信：1KHz；地下矿井通信：1KHz；天波通信：10—30KHz。由于磁电天线极大缩小了天线尺寸，因此对设备尺寸敏感的可植入医疗设备来说尤为关键。而对于低频通信，传统的天线尺寸都极大，不可能广泛应用。但是对于磁电天线来说，它可以将传统的上百米高的天线缩减为单人可携带系统，因此可以极大的扩展无线通讯的可应用领域。 【展开】 【收起】