在高端制造领域，工件表面在进行粘接、电镀、镀膜等工艺处理时，由于表面存在有机污染物、氧化物及残留物等，导致出现粘接不牢固、镀层及薄膜易脱落的问题，严重影响产品性能和使用寿命，因此工件在进行表面处理前必须要进行清洗。相对于传统的酸和有机溶剂等湿法清洗来说，等离子体清洗是一种新型的干法清洗技术，由空气、氮气或氩气等气体电离产生等离子体，富含带电离子和活性基团，能有效去除工件表面的污染物，提高材料表面活性，具有清洁、环保、高效和可靠等优点，具有非常广阔的市场前景，2021年中国的清洗机市场已达到205亿元，2026年预计将增加到350亿元。但是，目前国产等离子体清洗机存在设备寿命短（仅在半年之内）和等离子体处理尺寸小（处理宽幅小于8厘米）的问题。而大尺寸长寿命等离子体清洗机高端产品完全由德国和韩国垄断，且对国内禁运，是真正的“卡脖子”技术。团队成员均为中国科学技术大学的博士，是国内唯一从事等离子清洗机专业研发的企业团队，已主持多项国家重点研发项目、国家自然科学基金项目，发表文章一百多篇，授权8项发明专利。团队负责人彭姣为德国顶尖研究机构亥姆赫兹联合会的归国博士后，合肥市高层次领军人才、安徽省留学人才。团队已经研发了四款主要核心产品，尤其在长寿命大尺寸等离子体清洗设备研制方面，率先实现了国内技术突破，打破了国外完全垄断的格局，其中旋喷式大尺寸等离子体机是团队独有技术，处于国际领先水平，研发设备可应用于高端制造产业，面向长鑫存储的半导体晶圆、国轩高科和宁德时代的锂电池、京东方的显示屏等产品的清洗。 【展开】 【收起】