原子力显微镜(Atomic Force Microscope, AFM)已发展成为非常重要的具有原子级分辨的材料表面分析仪器。它能同时获得形貌,力学、电学、磁学以及化学性能,在半导体行业、材料研究、纳米技术和生化领域有广阔的应用。探针是仪器极其重要的配件/耗材,对AFM的分辨率、一致性有决定性的影响。国际上有7—8家企业生产,主要在欧洲和美国。目前市场已有的探针易磨损、需频繁更换且一致性差。本项目提出采用一维纳米线来制备高分辨功能AFM探针。纳米线包括各种导电、磁性纳米线以及碳纳米管。我们生产的高性能探针的性能具有:分辨率极高(针尖直径从40纳米降为10纳米);使用寿命延长(提高十倍以上);后续开发包括功能探针(导电和磁性探针)。本项目产品已经规模制备成功,并申请了2项国内专利和1项美国专利。用户包括清华大学、中科院等单位。中科院高能所纳米安全实验室采用我们的碳纳米管原子力显微镜探针,检测的数据已经发表在国际顶级杂志上。作为我国唯一制备AFM探针的企业,我们有希望很快占据较大的国际市场份额。国际市场每年总需求估计在10亿—20亿元人民币左右,市场需求成长高于20%。本技术后续开发产品包括高性能x射线源,这方面的市场非常大,主要用于安检、工业探伤、医疗等。
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