【第一参赛人/留学人员】刘冬梅

【留学国家】英国

【技术领域】高端装备与新能源汽车

【参赛届次】第6届

【所获奖项】入围

【项目简介】
半导体高端洁净机器人及自动化系统设备被广泛运用在集成电路的多个领域,实现晶圆、LED、太阳能电池等的搬运、传输和校准,可应用在刻蚀机、CVD(化学气相沉积)、PVD(物理气相沉积)和CMP(化学机械抛光)等整机设备形成配套。目前国内针对8寸、12寸晶圆的半导体设备供给不足,国产设备占有率不足15%,主要依赖国外进口设备。半导体洁净机器人及晶圆装卸载设备的国产化将填补国内半导体行业关键设备空白,彻底打破国外的技术封锁。本项目采用了晶圆扫描系统、扫描算法、末端执行器、控制器等技术,可实现产品的高精度,综合重复定位精度达到±0.1mm;高可靠性,具有极强的传片稳定性;高洁净度,搭配FFU系统,能够达到行业高水平Class 1的标准。目前已申请专利30项,包含发明专利7项、软著2项。本项目已从研发阶段过渡到产品市场开拓阶段,具备量产条件,近三年产品出货量数量累计达1000,其中入选北京市新技术新产品7项,入选中关村首台(套)重大技术装备试验、示范项目2项、“晶圆搬运机械手” 入选北京市智能制造关键技术装备供应商推荐目录(2018),“半导体装载平台Loadport”入选北京市优秀人才培养资助项目。 【展开】 【收起】
【成立时间】2013年01月07日
【行业领域】科技推广和应用服务业
【注册资本】1000万元
【企业法人】刘冬梅
【官方网站】http://rejeauto.com
【公司地址】北京市北京经济技术开发区科创十四街99号33幢C栋603室
【企业简介】
锐洁机器人是由海外留学归国团队创办的国家高新技术企业,专业从事泛半导体行业各种晶圆搬运洁净机器人和自动化系统设备的研发与生产(包括EFEM、Sorter、Loadport、Aligner、Loader、unloader等)。公司拥有关于机械手结构及自动化控制和通讯方面核心专利30项,建有独立研发实验室和洁净生产车间约1000平方米,具备完善的研发生产设施,与国内多家知名集成电路芯片制造商建立了合作关系,累计为国内客户提供芯片制造领域自动化解决方案600余项。目前国内半导体芯片设备生产行业主要被国外厂家垄断,国产设备占有率较低,我司核心技术团队人才,拥有20余年半导体行业从业经验,可快速的为用户提供定制化设计生产。公司近两年投入资金研发的国产大行程洁净机械手、五指可变间距洁净机械手、8寸、12寸晶圆搬运EFEM设备等产品都已实现销售,填补了国内关键产品空白,给公司带来显著经济效益。公司自成立以来累计实现销售收入达1.3亿元,已连续3年实现盈利,每年销售收入翻倍增长.公司凭借专业的洁净机械手臂和半导体自动化设备开发经验,不断扩大市场份额,提升品牌影响力,致力于成为国内半导体洁净机器人及专用半导体自动化设备的最大产品服务商。 【展开】 【收起】